三英精控纳米台特点
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
准：电容传感器的应用及先进的控制模式和算法，保证纳米台的运动精度。
稳：优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性，保证了纳米台长时间的稳定性。
ns-xy25-01xy二维纳米定位台
典型应用：
显微成像
光学对准
表面检测
高密度存储
半导体加工
技术参数：
|
型号
|
ns-xy25-01
|
|
运动轴
|
x/y
|
|
传感器类型
|
电容式
|
|
闭环行程
|
25/25μm
|
|
闭环分辨率
|
0.1/0.1nm
|
|
线性度
|
0.03/0.03%
|
|
无载谐振频率
|
2000/2000hz
|
|
端口
|
d-sub15
|
|
材料
|
铝合金
|
|
最大负载
|
1kg
|
|
体积
|
100 x 100 x 25mm
|
注：闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图：
如有客户需求，三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的下载凯发k8的技术支持与服务。
