三英精控纳米台特点
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
平：得益于独特的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
准：电容传感器的应用及先进的控制模式和算法，保证纳米台的运动精度。
稳：优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性，保证了纳米台长时间的稳定性。
ns-z1000-01超大行程z轴物镜定位台
典型应用：
晶圆切割
显微成像
微电子精密加工
物镜调焦及扫描
可定制不同的物镜接口
技术参数：
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型号
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ns-x1000-01
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运动轴
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x
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传感器类型
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电容式
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闭环行程( μm )
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1000
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闭环分辨率( nm )
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5
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线性度( % )
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0.1
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无负载下谐振频率( hz )
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150
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端口
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d-sub15
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材料
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铝合金
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最大负载( kg )
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0.8
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尺寸( mm )
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77 x 40 x 31
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注：闭环分辨率与带宽有关。
尺寸图：
如有客户需求，三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的下载凯发k8的技术支持与服务。
